伍历文
【姓名】 伍历文
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多层膜,同步辐射,成膜特点,辐照,软X射线,Si多层膜,成膜特性,热稳定性,纳米,溅射,稳定性,波段,热稳定,中国科学技术大学,双层膜,玻璃托,热传导模型,X射线,基础物理,界面反应,退火温度,国家同...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]刘文汉,伍历文,周凌云,张裕恒,许振嘉.W/Si,WSi_2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性[J]科学通报.1994,(07)
[2]伍历文,王兵,刘文汉,周凌云,殷士龙,田扬超,胡一贯.同步辐射辐照下Mo/Si,Pd/Si多层膜的稳定性[J]科学通报.1995,(08)
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