吴气虹
【姓名】 吴气虹
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 计算机编程,CVD金刚石,膜生长,金刚石,金刚石生长,编程控制,中国科学技术大学,灯丝电源,光谱,硅碳氮,CVD系统,物理系,时间分辨光谱,空间分辨,光发射谱,CVD金刚石膜,谱峰,成核阶段,SiCN...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]方容川,常超,廖源,叶祉渊,薛剑耿,王冠中,马玉蓉,尚乃贵,牛晓滨,王代冕,吴气虹,揭建胜.计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用[J]材料导报.2001,(01)
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