钱石南
【姓名】 钱石南
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 同步辐射光刻,均匀性测量,光刻,差分抽气,光束线,曝光室,同步辐射,镜箱,扫描反射镜,均匀性,差分,栅固定,空系,条纹信号,光强,在线实时测量,曝光面,双光栅,指示光,快阀,压力级,储存环,国家同步辐...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]蒋迪奎,李贵和,刘泽文,殷立新,钱石南,阚娅,吴冠原.同步辐射光刻光束线的真空系统[J]真空科学与技术.1994,(03)
[2]钱石南;.就“压电精密调整装置”答读者[J]光学仪器.1985,(01)
[3]钱石南,刘泽文,阚娅,刘万波.同步辐射光刻曝光均匀性测量[J]量子电子学.1990,(03)
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