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【姓名】	耿松
【职称】
【研究领域】	物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】	大气压等离子体,薄膜沉积,二氧化硅薄膜,实验研究,等离子体化学气相沉积,生长速率,红外吸收谱,表面分析,工作气体,硅衬底,氩气,吸收峰,大颗粒,反应室,薄膜表面,低气压,中国科学院,中国科学技术大学,...
【工作单位】	中国科学技术大学
【曾工作单位】	中国科学技术大学;
【所在地域】	合肥

中国期刊全文数据库 共找到2篇

[1]周军;耿松;刘万东;李弘;谢锦林;兰涛;刘阿娣;付宸硕;朱逸伦;涂翠;.高频振荡下缓慢前沿的电子束电流波形测量[J]强激光与粒子束.2013,(11)

[2]程诚,方鹏,朱晓东,耿松,詹如娟.大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究[J]真空科学与技术学报.2005,(04)

中国重要会议全文数据库 共找到7篇

[1]李斌;陈志鹏;李弘;罗辰;王慧慧;耿松;冯雷;刘秋艳;刘万东;.利用脉冲压缩雷达反射法测量复杂背景等离子体密度剖面[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20

[2]陈志鹏;罗辰;李弘;王慧慧;李斌;耿松;冯雷;刘秋艳;刘万东;.碰撞等离子体中整体电中性对单探针测量的影响[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20

[3]耿松;陈志鹏;李弘;李斌;罗辰;王慧慧;冯雷;刘秋艳;刘万东;.面电子束源产生等离子体模拟研究[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20

[4]罗辰;李弘;陈志鹏;王慧慧;白小燕;欧阳亮;李斌;耿松;刘秋艳;冯雷;刘万东;.中等气压下凹腔型感应耦合放电机理的实验研究[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20

[5]耿松;罗辰;陈志鹏;李斌;王慧慧;刘万东;.电弧等离子体窗隔绝真空效果研究[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[6]李斌;李弘;王慧慧;陈志鹏;耿松;冯雷;罗辰;刘秋艳;刘万东;.利用微波截止探针测量等离子体电子密度[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[7]耿松;罗辰;明章健;李弘;刘万东;.中高气压电子束等离子体实验装置设计与优化[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08

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