程诚
【姓名】 程诚
【职称】
【研究领域】 物理学;力学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 大气压等离子体,薄膜沉积,二氧化硅薄膜,梳状电极,电极条宽,电极条间距,表面放电,放电电流,实验研究,等离子体化学气相沉积,生长速率,红外吸收谱,电极结构,大气压,表面分析,工作气体,硅衬底,氩气,吸...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 安徽合肥
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中国期刊全文数据库    共找到4篇
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[3]张锐,汪磊,徐蕾,程诚,詹如娟.梳状电极结构对大气压表面放电的影响[J]真空科学与技术学报.2004,(03)
[4]程诚,方鹏,朱晓东,耿松,詹如娟.大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究[J]真空科学与技术学报.2005,(04)
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[1]程诚.大气压射流冷等离子体的产生和特性研究[D].中国科学技术大学.2006
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