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郭群英
【姓名】
郭群英
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;仪器仪表工业;核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
测辐射热计,微桥结构,氧化钒薄膜,微桥,牺牲层,VO_x,非致冷,VOx薄膜,红外辐射,去胶,电阻温度系数,红外,靶材,聚酰亚胺,吸收膜,LPCVD,加工流程,空腔,腐蚀液,多晶硅,
【工作单位】
中国兵器工业集团第二一四研究所
【曾工作单位】
中国兵器工业集团第二一四研究所;
【所在地域】
蚌埠
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共找到1篇
[1]陈建国,郭群英,邢昆山.
测辐射热计的微桥研制和VO_x膜成膜研究
[J]半导体技术.2002,(01)
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