徐静
【姓名】 徐静
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】 浓硼扩散腐蚀自停止的研究
【发表文献关键词】 单晶硅,悬臂梁,浓硼扩散,残余应力,形变,拟合,变形曲线,硼掺杂,腐蚀自停止,离面位移,自停止腐蚀,宽度,长度,结构,力偶矩,晶格失配,等效,高浓度,估算,厚度,
【工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所
【曾工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【所在地域】 四川绵阳
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 1 1 1 4 172
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]徐静,苏伟.单晶硅浓硼掺杂悬臂梁中残余应力的研究[J]传感器技术.2005,(07)
更多