邓新禄
【姓名】 邓新禄
【职称】
【研究领域】 材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ZrN薄膜,等离子体增强,微波等离子,增强沉积,磁控,溅射,结构及性能,非平衡,Ecorr,45#钢,耐蚀性能,薄膜表面,无偏压,自腐蚀电流,同偏,非晶膜,局部缺陷,自腐蚀电位,沉积技术,电化学极化,
【工作单位】 中国工程物理研究院
【曾工作单位】 中国工程物理研究院;
【所在地域】 绵阳
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[1]刘天伟,董闯,邓新禄,陈曦.偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响[J]核技术.2005,(06)
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