张衡
【姓名】 张衡
【职称】
【研究领域】 教育理论与教育管理;精神病学;建筑科学与工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 热丝化学气相沉积法,纳米金刚石膜,超声波预处理,低温生长,光吸收系数,表面粗糙度,成核密度,晶粒尺寸,超薄,金刚石成核,混合气体,浓度,硅片,方法研究,成核过程,厚度,对应图,亚微米,纳米级,衬底结,
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
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