余京松
【姓名】 余京松
【职称】 研究员;
【研究领域】 无机化工;有机化工;无线电电子学;
【研究方向】 高纯硅及硅烷研究20多年
【发表文献关键词】 镀膜玻璃,硅,硅／碳化硅复合,APCVD,薄膜,电子气体,氮化硅,粒子规范,供气系统,化学气相沉积,粒子计数器,粒子过滤,硅薄膜,乙硅烷,粒子计数,乙烯含量,CVD法,恒温恒压汽化,氮化,气体分析仪,...
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 浙江杭州
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