王飞尧
【姓名】 王飞尧
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 氧沉淀,二次缺陷,重掺杂直拉硅,缺陷,重掺硅,诱生,直拉硅单晶,硅单晶,n型,重掺杂,掺杂元素,层错,单晶,掺硅,氧浓度,p型,择优腐蚀,硅原子,缺陷密度,Ramping,
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
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[1]黄笑容,杨德仁,沈益军,王飞尧,马向阳,李立本,阙端麟.重掺杂直拉硅单晶氧沉淀及其诱生二次缺陷[J]半导体学报.2004,(06)
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