王德苗
【姓名】 王德苗
【职称】 教授;
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;材料科学;
【研究方向】 真空器件类技术等研究
【发表文献关键词】 FBAR,AlN,射频反应溅射,晶体结构,压电薄膜,射频反应磁控溅射,氮气分压,HBAR,谐振频率,基片温度,氮化铝薄膜,择优取向,体声波,铁电体,铁电阴极,电子发射电流,氮化物,表面等离子体,强激励...
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
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[1]王德苗;.新颖微波介质陶瓷薄膜的研究[A].浙江大学;.项目经费 21万元.2001-03-31.资助文献数 13
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