孙淼
【姓名】 孙淼
【职称】
【研究领域】 物理学;汽车工业;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Si基SiO2光波导,ICP刻蚀,表面粗糙度,传输损耗,干法刻蚀,气体流量,刻蚀工艺,脊型波导,低损耗,散射损耗,反应温度,功率,测试结果,优化,偏置,工艺研究,压强,均方根值,感应,减小,
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 浙江杭州
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[1]孙淼;时尧成;戴道锌;刘柳;.减小SiO_2光波导表面粗糙度的ICP干法刻蚀工艺研究[J]光学仪器.2007,(01)
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