龚晨光
【姓名】 龚晨光
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 减压,氢等离子体,硅衬底,硅烷,硅外延,外延层,原位,外延,扩展电阻,子体,衬底温度,掺杂剂,晶格损伤,沈复,清洁技术,氢等离子,输出功率,减压工艺,自掺杂,常压,硅表面,高频电场,处理时间,等离子体...
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
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[1]沈复初,叶必光,陈坚,龚晨光.氢等离子体原位清洁硅衬底表面[J]半导体学报.1991,(09)
[2]沈复初,叶必光,陈坚,龚晨光.硅烷减压外延[J]浙江大学学报(自然科学版).1992,(05)
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