张宇峰
【姓名】 张宇峰
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,感应耦合等离子体,离子束辅助沉积,IBAD,引出栅,离子束,离子束辅助,辅助沉积,离子源,IBAD技术,射频ICP,溅射,电子束蒸发,薄膜沉积,离子源辅助,低能离子,离子柬,子体,离子束轰击,离...
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
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[1]张宇峰,张溪文,任兆杏,韩高荣.离子束辅助薄膜沉积[J]材料导报.2003,(11)
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