马德群
【姓名】 马德群
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅外延,实时B掺杂,超高真空化学气相沉积,UHV/CVD,硼掺杂,外延层,扩展电阻,浙江大学,硼原子,硅材料,载流子浓度,微系统,原子,低温外延,超高真空,研究与开发,国家重点实验室,钝化作用,生长室...
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 1 1 0 2 66
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]王亚东,黄靖云,叶志镇,汪雷,马德群,赵炳辉.UHV/CVD硅外延的实时硼掺杂研究[J]材料科学与工程.2001,(02)
更多