学者知网节

【姓名】	娄迪
【职称】
【研究领域】	无线电电子学;仪器仪表工业;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】	K9玻璃,室温,Si-玻璃直接键合(SGDB),诱导应力,湿法刻蚀,微光机电系统,退火时间,掩膜,MOEMS,抗腐蚀,直接键合,刻蚀剂,光刻胶,刻蚀工艺,键合强度,湿法,保护膜,表面能,氟酸,氮化硅,...
【工作单位】	浙江大学
【曾工作单位】	浙江大学;
【所在地域】	浙江杭州

中国期刊全文数据库 共找到5篇

[1]娄迪;白剑;侯西云;杨国光;.用于可见光波段的二元光学混合光学系统的设计与应用[J]光电子·激光.2006,(01)

[2]张巍;娄迪;叶辉;白剑;杨国光;.微光学自适应技术中基于PZT薄膜的微反射镜工艺研究[J]光学仪器.2006,(03)

[3]黄腾超,沈亦兵,陈海星,娄迪,侯西云.应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究[J]光学仪器.2004,(02)

[4]黄腾超,沈亦兵,侯西云,娄迪,白剑.室温Si-玻璃直接键合技术研究[J]光电子·激光.2004,(05)

[5]黄腾超,沈亦兵,侯西云,娄迪,白剑.SiO_2薄膜辅助硅-玻璃热键合技术的研究[J]浙江大学学报(工学版).2005,(09)

中国博士学位论文全文数据库 共找到1篇

[1]娄迪.谐衍射光学设计理论和应用研究[D].浙江大学.2008

中国重要会议全文数据库 共找到2篇

[1]黄腾超;沈亦兵;陈海星;娄迪;侯西云;.应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究[A].2004年光学仪器研讨会论文集.2004-06-30

[2]娄迪;白剑;侯西云;杨国光;.谐衍/折光学在可见光波段的应用研究[A].大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集.2004-06-30

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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