黄士勇
【姓名】 黄士勇
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ITO膜,光谱法,溅射速率,在线控制,晶向结构,面电阻,等离子体,透光率,靶电流,溅射,光谱强度,膜导电玻璃,热稳定,溅射室,膜特性,可见光透过率,真空,特征光谱,特征谱线,锡合金,基片温度,单色仪,...
【工作单位】 浙江大学
【曾工作单位】 浙江大学;
【所在地域】 杭州
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[1]黄士勇，王德苗，任高潮，陈抗生.光谱法在线控制ITO膜的制备[J]真空电子技术.1996,(03)
[2]黄士勇,王德苗,任高潮,陈抗生.光谱法控制ITO膜沉积速率[J]材料研究学报.1997,(03)
[3]王德苗,黄士勇,任高潮,陈抗生.真空和大气退火对 ITO 膜特性的影响[J]浙江大学学报(自然科学版).1997,(04)
[4]王德苗,黄士勇,任高潮,陈抗生.光谱法控制溅射速率的研究[J]真空科学与技术.1997,(05)
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