柳翠
【姓名】 柳翠
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 CN薄膜,C3N4,离子束溅射,CN_x,基片温度,薄膜性能,N含量,多层膜,溅射,温度,硬度,离子束,多层薄膜,溅射法,材料科学,燕山大学,秦皇岛,显微硬度,单晶Si,工程学院,
【工作单位】 燕山大学
【曾工作单位】 燕山大学;
【所在地域】 秦皇岛
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[1]柳翠,李东春,于栋利,何巨龙,田永君,刘世民.基片温度对CN_x薄膜性能和结构的影响[J]燕山大学学报.2002,(01)
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[1]柳翠.离子束溅射法制备C-N薄膜的研究[D].燕山大学.2002
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