曲凤钦
【姓名】 曲凤钦
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 机理,ITO膜,旋转圆柱形磁控溅射器,利用率,溅射,磁控溅射,射频溅射,使用周期,水冷系统,靶材利用率,磁控,旋转圆柱,直流溅射,马达驱动,靶材,磁控溅射器,靶面,扫描电镜图像,沉积速率,真空,透光率...
【工作单位】 烟台大学
【曾工作单位】 烟台大学;
【所在地域】 烟台
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[1]黄士勇,曲凤钦,苗晔,孟兆坤.高靶材利用率的新型磁控溅射器[J]真空科学与技术.2000,(02)
[2]黄士勇,曲凤钦,苗晔,钟玉荣,孟兆坤,傅胜奇.无马达驱动的旋转圆柱形磁控溅射器[J]真空科学与技术.2001,(05)
[3]黄士勇,曲凤钦,苗晔.真空和射频溅射对ITO膜性能的影响[J]真空.1999,(02)
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