JGER
【姓名】 JGER
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 纳米定位,长距扫描探针技术,纳米测量,激光干涉仪,控制系统,测量机,Mach,测量结果,英文,工业大学,德国,Aseries,干涉测长,系统分辨力,扫描探针技术,Included,Blocks,过程测...
【工作单位】 伊尔梅瑙工业大学
【曾工作单位】 伊尔梅瑙工业大学;
【所在地域】 德国
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[1]JGER Gerd,GRNWALD Rainer,MANSKE Eberhard,HAUSOTTE Tino,FβL Roland.纳米定位测量机操作测量结果(英文)[J]纳米技术与精密工程.2004,(02)
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