PaulK
【姓名】 PaulK
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 扩散阻挡层,金属硅化物,固相外延,晶格失配,Ti/Si,原子,CoSi_2薄膜,多层薄膜,固相反应,GeSi,Si结构,外延,准晶格,失配率,外延生长,Si/Ti,衍射峰,Si衬底,超浅结,非晶,
【工作单位】 香港城市大学
【曾工作单位】 香港城市大学;
【所在地域】 香港
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[1]徐蓓蕾,屈新萍,韩永召,茹国平,李炳宗,W.Y.Cheung,S.P.Wong,PaulK.Chu.Co/a-GeSi/Ti/Si多层薄膜固相反应外延生长CoSi_2薄膜[J]固体电子学研究与进展.2003,(02)
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