沈耀根
【姓名】 沈耀根
【职称】
【研究领域】 材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 溅射,TiN薄膜,磁控,电子能谱,原子力显微镜,氮化钛,X光,钛薄膜,衬底偏压,物理化,学特性,化学态,氮化,离子电流密度,方法研究,表面形貌,XPS谱,原始表面,峰位移动,薄膜厚度,
【工作单位】 香港城市大学
【曾工作单位】 香港城市大学;
【所在地域】 香港
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[1]江宁,沈耀根,张寒洁,鲍世宁.用XPS和AFM等方法研究氮化钛薄膜的物理化学特性[J]真空科学与技术学报.2004,(06)
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