罗仲梓
【姓名】 罗仲梓
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 键合,PDMS芯片,微流控系统,光刻胶,中真空,MEMS,MEMS开关,射频,SiN薄膜,剥离工艺,PDMS,制作工艺,聚酰亚胺,氮化硅薄膜,氧等离子体,微流控芯片,牺牲层,PECVD法,残余应力,接...
【工作单位】 厦门大学
【曾工作单位】 厦门大学;
【所在地域】 福建厦门
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中国期刊全文数据库    共找到15篇
[1]陈光红;吴清鑫;于映;罗仲梓;.射频MEMS开关中金属剥离工艺研究[J]苏州市职业大学学报.2012,(02)
[2]吴清鑫;陈光红;于映;罗仲梓;.悬臂梁接触式RF MEMS开关的关键工艺研究[J]传感器与微系统.2009,(09)
[3]彭慧耀;于映;罗仲梓;王培森;.聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用[J]传感技术学报.2006,(05)
[4]于映;吴清鑫;罗仲梓;.氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用[J]传感技术学报.2006,(05)
[5]王培森;于映;罗仲梓;彭慧耀;.硅/玻璃键合技术在RF-MEMS开关制作中的应用[J]微纳电子技术.2007,(01)
[6]吴清鑫;陈光红;于映;罗仲梓;.PECVD法生长氮化硅工艺的研究[J]功能材料.2007,(05)
[7]陈光红;吴清鑫;于映;罗仲梓;.微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究[J]中国仪器仪表.2007,(05)
[8]吕文龙;罗仲梓;何熙;张春权;.PECVD淀积SiO_2的应用[J]功能材料与器件学报.2008,(01)
[9]何熙;陈松岩;方辉;罗仲梓;谷丹丹;.红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究[J]厦门大学学报(自然科学版).2008,(02)
[10]陈光红;吴清鑫;于映;罗仲梓;.射频MEMS开关的研究[J]中国仪器仪表.2008,(08)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]冯石;刘俊扬;郑珏婷;杨扬;罗仲梓;田中群;.机械可控裂结研究中可宽范围控制纳米间隔的新基底[A].中国化学会第29届学术年会摘要集——第32分会：纳米表征与检测技术.2014-08-04
[2]于映;赵晨;罗仲梓;翁心桥;.Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究[A].中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集.2004-11-01
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