郑剑铭
【姓名】 郑剑铭
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;航空航天科学与工程;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 MEMS,微尖,电镀,键合,陀螺仪,微电镀,微机电系统,光刻,AZ4620,各向异性腐蚀,微弱信号检测,隧道电流,微系统,微机械,厦门大学,MEMS器件,感器,微型机械,微弱信号,悬臂梁,机电工程系,...
【工作单位】 厦门大学
【曾工作单位】 厦门大学;
【所在地域】 福建厦门
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中国期刊全文数据库    共找到4篇
[1]孙道恒,王明亮,郑剑铭,张玉德.微机电系统(MEMS)的研究进展[J]机电技术.2003,(S1)
[2]王明亮,王艳华,郑剑铭,孙道恒.微尖的两种制作工艺[J]传感器技术.2004,(02)
[3]王明亮,郑剑铭,孙道恒.用AZ4620制作微电镀模的工艺研究(英文)[J]微纳电子技术.2004,(04)
[4]郑剑铭,王凌云,王明亮,孙道恒.微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术[J]厦门大学学报(自然科学版).2004,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]孙道恒;王明亮;郑剑铭;张玉德;.微机电系统(MEMS)的研究进展[A].福建省科协第三届学术年会装备制造业专题学术年会论文集.2003-09-23
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