林雁飞
【姓名】 林雁飞
【职称】 助理工程师;
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PYREX玻璃,湿法腐蚀,光刻胶,坚膜,浮胶,槽腐蚀,义齿基托,医用传感器,MEMS,压力检测,微传感器,正性,电容式压力传感器,掩膜,涂胶,显影时间,腐蚀时间,曝光时间,湿法,作用力,测试结果,腐蚀...
【工作单位】 厦门大学
【曾工作单位】 厦门大学;
【所在地域】 福建厦门
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/6 3 1 2 47 1982
中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]胡洪平;林雁飞;冯勇建;.基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制[J]传感技术学报.2006,(05)
[2]张丹;林雁飞;冯勇建;.基于MEMS技术的电容式微型真空传感器[J]微纳电子技术.2008,(02)
[3]林雁飞,郑志霞,张丹,冯勇建.PYREX玻璃湿法凹槽腐蚀研究[J]微纳电子技术.2005,(01)
[4]郑志霞,冯勇建,张丹,林雁飞.BP-212正性光刻胶的抗蚀特性研究[J]微纳电子技术.2005,(02)
[5]郑志霞,林雁飞,冯勇建.7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究[J]厦门大学学报(自然科学版).2005,(03)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]林雁飞;冯勇建;张丹;.P~+膜制备工艺研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
更多