杨小跃
【姓名】 杨小跃
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 真空设备,离子注入机,技术说明,指标测定,有效方法,A型,电气,技术指标,半导体,教学,真空,真空值,扩散泵,科研,瓷套,靶室,聚焦器,接头,极限,电离规,
【工作单位】 西北电讯工程学院
【曾工作单位】 西北电讯工程学院;
【所在地域】
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[1]桂智彬,刘家璐,杨小跃.一种修复真空设备的有效方法[J]半导体技术.1988,(04)
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