张群社
【姓名】 张群社
【职称】
【研究领域】 化学;物理学;无线电电子学;
【研究方向】 半导体材料生长模拟
【发表文献关键词】 热壁,漏气率,温度场,感应加热,PVT法,真空系统,密封结构,磁矢势,生长设备,SiC粉源,CVD法,热场,SiC,有限元,焦耳热,加热组件,耦合间隙,石墨,真空,分析与设计,温度梯度,人工晶体,空隙...
【工作单位】 西安理工大学
【曾工作单位】 西安理工大学;
【所在地域】 西安
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中国期刊全文数据库    共找到8篇
[1]张群社;陈治明;蒲红斌;李留臣;封先锋;.用升华法生长SiC晶体的一种新颖的坩埚设计(英文)[J]人工晶体学报.2006,(01)
[2]张群社;陈治明;李留臣;蒲红斌;封先锋;陈曦;.不同耦合间隙对大直径SiC晶体生长感应加热系统的影响[J]人工晶体学报.2006,(04)
[3]张群社;陈治明;李留臣;杨峰;蒲红斌;封先锋;.PVT法生长大直径SiC晶体粉源的热特性及对生长的影响[J]半导体学报.2007,(01)
[4]张群社;陈治明;李留臣;蒲红斌;封先锋;.PVT法生长大直径6H-SiC晶体感应加热对系统的影响[J]人工晶体学报.2007,(01)
[5]张群社;陈治明;.感应加热线圈对PVT法生长大直径SiC晶体的影响[J]西安理工大学学报.2007,(01)
[6]蒲红斌,陈治明,李留臣,封先锋,张群社,沃立民,黄媛媛.用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计[J]人工晶体学报.2004,(05)
[7]李留臣,陈治明,蒲红斌,封先锋,张群社.人工晶体生长设备真空系统的优化设计[J]人工晶体学报.2004,(06)
[8]张群社,陈治明,蒲红斌,李留臣,封先锋,巩泽龙.SiC晶体PVT生长系统的流体力学模型及其有限元分析[J]人工晶体学报.2005,(05)
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中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]张群社.PVT法生长SiC晶体的热系统分析[D].西安理工大学.2007
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[1]张群社;陈治明;李留臣;刘博;蒲红斌;封先锋;.感应加热系统对大直径SiC晶体PVT法生长的影响[A].第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集.2006-11-01
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