张茂国
【姓名】 张茂国
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控溅射法,二硅化钼,薄膜结构,电阻率,方阻,基体,磁控溅射,MoSi2薄膜,钼薄膜,电学性能,表面形貌,性能表征,溅射气压,原子力显微镜,氧化铝基,基底温度,退火过程,退火温度,四探针,性能分析,沉...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]信绍广;徐可为;陈华;张茂国;.基体对硅钼薄膜结构及电学性能的影响[J]稀有金属材料与工程.2006,(03)
[2]张茂国,陈华.磁控溅射法制备硅钼薄膜及其性能表征[J]稀有金属材料与工程.2005,(07)
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