宫俊
【姓名】 宫俊
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子刻蚀,直流特性,MESFET,敏度,钝化膜,硅压力传感器,PECVD,量子线,微波单片集成电路,Si_3N_4,GaAs,氮化硅,灵敏度因子,非线,非线性分析,直流参数,厚膜,成品率,管芯,硅薄...
【工作单位】 西北电讯工程学院
【曾工作单位】 西北电讯工程学院;
【所在地域】
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[1]周南生;宫俊;张文敏;.氮化硅钝化膜中氢的作用[J]西北电讯工程学院学报.1987,(04)
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