孙潇
【姓名】 孙潇
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微电子机械系统(MEMS),针,高深宽比,微电子机械系统,微针,同步辐射光源,光刻,药物传输,有限元,生化检验,集成化,微型化,加工方法,研究进展,力学性能,数值模拟,阵列,关键问题,研究热点,微通道...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]贾书海;李以贵;朱军;孙潇;.MEMS微针研究[J]仪器仪表学报.2006,(S1)
[2]孙潇;贾书海;朱军;李以贵;.新型MEMS微针设计及其力学性能[J]半导体学报.2007,(01)
[3]贾书海;李以贵;朱军;孙潇;.一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法[J]西安交通大学学报.2007,(05)
[4]孙潇;贾书海;.一种新型梯度电场控制光开关的原理研究[J]半导体光电.2008,(01)
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