任泰安
【姓名】 任泰安
【职称】
【研究领域】 机械工业;自然地理学和测绘学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微型齿轮泵,微型涡轮,工艺流程,微型机械,表面硅微器件,掩膜,生成方法,三维特征,微机电系统,SolidWorks,掩膜版,牺牲层,结构设计方法,器件结构,结构层,工艺步骤,自动提取,三维结构模型,辅...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]张长富;蒋庄德;卢德江;任泰安;王久洪;.基于三维特征的微机电系统器件结构设计方法[J]西安交通大学学报.2007,(05)
[2]张长富;任泰安;卢德江;蒋庄德;.表面硅微器件中掩膜和工艺流程的自动生成方法[J]西安交通大学学报.2007,(09)
[3]任泰安,王小斌,陈伟,蒋庄德.微型涡轮和微型齿轮泵的研制[J]半导体情报.1997,(06)
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