秦旭光
【姓名】 秦旭光
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 集成电路压印光刻工艺
【发表文献关键词】 复型,冷压印光刻,压印光刻,热压印光刻,光刻工艺,压印,硅橡胶,硅橡胶模具,玻璃模具,模具,模具制作,有机玻璃,集成电路,特征尺寸,先进制造,母板,光刻技术,电子束直写,图形化,技术研究所,高分辨率,...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]秦旭光,李涤尘,李寒松,丁玉成,卢秉恒.高分辨率常温压印光刻工艺研究[J]电加工与模具.2003,(03)
[2]秦旭光,李涤尘,李寒松,丁玉成,卢秉恒.微压印光刻的模具制作工艺研究[J]电子工艺技术.2003,(05)
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