李嘉珩
【姓名】 李嘉珩
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻胶,微细电化学加工,电化学加工,微细加工,掩膜,电解液,加工间隙,开口角,脉冲电源,加工精度,试验研究,胶膜,表面质量,甩胶,形状精度,加工区域,脉冲电压,小间隙加工,光刻技术,脉冲电化学,
【工作单位】 西安工业学院
【曾工作单位】 西安工业学院;
【所在地域】 陕西西安
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[1]李嘉珩,马保吉,范植坚.光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究[J]电加工与模具.2004,(06)
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