杨振良
【姓名】 杨振良
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 退火气氛,Cu膜,多层膜,热稳定性,阻挡层,扩散阻挡层,混合气氛,真空退火,沉积态,电阻率,真空,膜表面,退火方式,氢气,表面电势,表面形貌,辅助沉积,低能离子束,单晶硅,晶界迁移,
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]杨振良,宋忠孝,徐可为.退火气氛及扩散阻挡层对多层膜热稳定性的影响[J]稀有金属材料与工程.2004,(11)
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