信绍广
【姓名】 信绍广
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基体,磁控溅射,MoSi2薄膜,方阻,钼薄膜,电学性能,氧化铝基,表面形貌,退火过程,退火温度,沉积,高电阻率,石英,表面粗糙度,相结构,低电阻率,难熔金属硅化物,溅射气压,四探针,相组成,
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 河北西安
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[1]信绍广;徐可为;陈华;张茂国;.基体对硅钼薄膜结构及电学性能的影响[J]稀有金属材料与工程.2006,(03)
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