马青松
【姓名】 马青松
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子体辅助物理、化学气相沉积,Ti-Si-N,PCVD,复合表面技术,表面工程,复杂型腔,复合技术,直流PCVD,射频等离子体,复合表面,复合镀层,射频等离子体辅助化学气相沉积,耐磨镀层,氮化层,摩...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 西安
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[1]Adam Mazurkiewiez,Jerzy Smolik,Jan Walkowiez,马青松,徐可为.用于机械工业的复合表面技术[J]中国表面工程.2003,(06)
[2]马青松,马胜利,徐可为,徐洮.磁控溅射和脉冲直流化学气相沉积Ti-Si-N薄膜摩擦磨损性能对比研究[J]摩擦学学报.2004,(05)
[3]马青松,马胜利,徐可为.PCVD在狭缝内壁沉积Ti-Si-N薄膜的研究[J]真空科学与技术学报.2004,(04)
[4]马胜利,马青松,牛新平,徐可为,P Karvankova,S Veprek.射频等离子体辅助化学气相沉积Ti-B-N薄膜的结构与性能[J]中国有色金属学报.2004,(12)
[5]马青松,马胜利,徐可为.脉冲直流PCVD技术在盲孔底部沉积Ti-Si-N薄膜[J]稀有金属材料与工程.2005,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]马青松;马胜利;徐可为;.脉冲直流PCVD在复杂型腔内表面沉积Ti-Si-N薄膜的研究[A].第五届全国表面工程学术会议论文集.2004-04-01
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