高润生
【姓名】 高润生
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 掠射法,TiN薄膜,内应力,X射线衍射,等离子增强化学气相沉积,沉积温度,掠射,气相沉积,薄膜应力,生成条件,热应力,侧倾法,常规法,离子轰击,掠射角,测定结果,点阵常数,应力状态,晶面族,热膨胀系数...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 西安
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[1]高润生;陈明;黄明志;.扭转试验机的扭矩扭角传感器的研制[J]理化检验.物理分册.1990,(01)
[2]徐可为，高润生，于利根，何家文.薄膜应力测定的X射线掠射法[J]物理学报.1994,(08)
[3]陈瑾,徐可为,高润生,何家文,赵程,李世直.沉积温度对等离子增强化学气相沉积TiN薄膜内应力的影响[J]真空科学与技术.1992,(04)
[4]徐可为,高润生,陈瑾.沉积方式与基体材料对TiN薄膜内应力的影响[J]真空科学与技术.1993,(02)
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