成丹
【姓名】 成丹
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 压印光刻技术研究
【发表文献关键词】 压印光刻,斜纹光栅,对准标记,傅里叶光学,莫尔条纹,抗蚀剂,信号模型,光栅副,透光特性,光栅对,线性区,高灵敏度,反射率因子,晶片,表面反射率,光电池,变化关系,光电探测器,计算模型,压印模具,
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]成丹,卢秉恒,丁玉成,王莉.冷压印光刻中斜纹光栅对准信号计算模型[J]光电工程.2005,(10)
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