田德成
【姓名】 田德成
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 AlN薄膜,AlN/Cu双层膜,残余应力,反应淀积,热稳定性,激光熔蚀,双层膜,放电电压,Cu膜,压强,吸收谱,氮气,取向性,溅射,金属薄膜,基底温度,薄膜表面,红外,谱曲线,特征吸收峰,
【工作单位】 武汉大学
【曾工作单位】 武汉大学;
【所在地域】 武汉
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