韩锡贵
【姓名】 韩锡贵
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ITO,光电性质,衬底负偏压,负偏压,溅射,柔性衬底,制备参数,ITO膜,电阻率,透明导电膜,霍耳迁移率,溅射法,氧空位浓度,氩分压,有机衬底,透过率,载流子浓度,自由载流子,生长速率,衍射峰,
【工作单位】 山东省科学院
【曾工作单位】 山东省科学院;
【所在地域】 济南
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[1]杨志伟,韩圣浩,杨田林,叶丽娜,马洪磊,韩锡贵.柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究[J]太阳能学报.2001,(03)
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