李志伟
【姓名】 李志伟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;无机化工;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 压电常数,Mg掺杂,BN-303光刻胶,前烘,显影,PZT压电陶瓷,工艺与性能,工艺参数,矫顽场,工艺条件,三维结构,表面形貌,微器件,光刻工艺,曝光时间,电滞回线,紫外光,掩蔽膜,烘焙温度,微电子技...
【工作单位】 武汉理工大学
【曾工作单位】 武汉理工大学;
【所在地域】 武汉
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[1]蒋玉荣;何永;李志伟;周建;欧阳世翕;.BN-303光刻胶前烘工艺对MEMS三维结构的影响[J]武汉理工大学学报.2007,(05)
[2]郝华,刘韩星,李志伟,胡水堂,欧阳世翕.Sr和Mg掺杂对PZT压电陶瓷工艺与性能的影响[J]武汉理工大学学报.2004,(08)
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