王叔琪
【姓名】 王叔琪
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束混合技术,合金薄膜,离子注入机,非晶态,离子束轰击,低温度,亚稳相,多功能靶室,合金化,电阻测量,蒸发沉积,离子束冶金,混合过程,石英晶体,相结构,真空蒸发,测量系统,膜厚计,四探针,沉积系统,
【工作单位】 武汉大学
【曾工作单位】 武汉大学;
【所在地域】 武汉
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[1]范湘军,郭怀喜,刘昌,王叔琪,余全华.一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室[J]真空科学与技术.1989,(05)
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