张淑敏
【姓名】 张淑敏
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】 极紫外多层膜研究
【发表文献关键词】 多层膜,同步辐射,X射线,Si多层膜,基底粗糙度,多层膜反射率,超声清洗,同步辐射光源,摇摆曲线,窄带,多层膜系,反射率,高级反射,多层膜反射镜,透射电镜,衍射仪,表面粗糙度,C多层膜,B_4C,光谱...
【工作单位】 同济大学
【曾工作单位】 同济大学;
【所在地域】 上海
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[1]吴文娟;朱京涛;王风丽;张众;王洪昌;张淑敏;王占山;陈玲燕;周洪军;霍同林;.窄带Mo/Si多层膜反射镜[J]光学仪器.2006,(04)
[2]张淑敏;朱京涛;王风丽;张众;沈正祥;王占山;周洪军;霍同林;.极紫外多层膜基底表面粗糙度综合表征技术[J]光学仪器.2006,(04)
[3]朱京涛;张淑敏;王蓓;吴文娟;李存霞;徐垚;张众;王风丽;王占山;陈玲燕;周洪军;霍同林;.30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜[J]光学学报.2007,(04)
[4]王风丽,王占山,王洪昌,吴文娟,张众,张淑敏,秦树基,陈玲燕.C/W多层膜的制备及其光学特性[J]真空科学与技术学报.2005,(05)
[5]王风丽,王占山,张众,吴文娟,王洪昌,张淑敏,秦树基,陈玲燕.W/B_4C、W/C、W/Si多层膜的研究[J]光学精密工程.2005,(01)
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[1]张淑敏;朱京涛;王风丽;张众;沈正祥;王占山;周洪军;霍同林;.EUV多层膜基底表面粗糙度综合表征技术[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
[2]张淑敏;朱京涛;王风丽;张众;沈正祥;王占山;周洪军;霍同林;.极紫外多层膜基底表面粗糙度综合表征技术[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
[3]吴文娟;朱京涛;王风丽;张众;王洪昌;张淑敏;王占山;陈玲燕;周洪军;霍同林;.窄带Mo／Si多层膜反射镜[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
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