鲁光元
【姓名】 鲁光元
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电激活,电激活均匀性,离子注入,半绝缘砷化镓,半绝缘,双离子注入,注入层,载流子浓度,GaAs,均匀性,有源层,电子迁移率,快速热退火,退火条件,激活率,效率,双注入,单离子,天津师范大学,饱和剂量,
【工作单位】 天津师范大学
【曾工作单位】 天津师范大学;
【所在地域】 天津
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[1]刘明成,刘福润,鲁光元,赵杰,王永晨.离子注入半绝缘GaAs电激活效率与电激活均匀性的研究[J]半导体杂志.2000,(03)
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