田莉萍
【姓名】 田莉萍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅,TMAH,硅杯,介质隔离,MEMS,压力传感器,各向异性腐蚀,力传感,温压,硅压力传感器,传感器,感器,四甲基氢氧化铵,压阻效应,敏度,掺杂浓度,腐蚀液浓度,多晶,载流,单晶硅,温度系数,表面...
【工作单位】 天津大学
【曾工作单位】 天津大学;
【所在地域】 天津
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[1]张为,姚素英,刘艳艳,王涌萍,阎富兰,田莉萍,牛秀文.四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用[J]微电子学.2001,(06)
[2]张荣,曲宏伟,王涌萍,阎富兰,崔金标,田莉萍,张维新.一种多晶硅高温压力传感器[J]微电子学.1998,(06)
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