徐晟
【姓名】 徐晟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多层薄膜结构,厚度测量,多层膜结构,薄膜厚度,新方法,空气隙,传感头,电极直径,电容测微原理,平面度测量,样件,测量精度,膜厚测量,平行板,测量电压,V值,多次测量,多层膜,线性拟合,非接触测量,
【工作单位】 天津理工大学
【曾工作单位】 天津理工大学;
【所在地域】 天津
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[1]杨保和;陈希明;赵捷;杨晓苹;徐晟;李明;.用于SAW器件的C轴择优取向LiNbO_3薄膜的制备及结构研究[J]光电子·激光.2006,(03)
[2]徐晟;陈希明;杨晓苹;杨保和;.金刚石声表面波器件的研制[J]天津理工大学学报.2006,(01)
[3]陈希明,马靖,徐晟,吴小国,孙大智,杨保和.测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法[J]光电子·激光.2005,(04)
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[1]徐晟.金刚石衬底上压电薄膜的制备研究[D].天津理工大学.2005
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[1]陈希明;徐晟;马靖;杨保和;.多层结构高频声表面波器件的模拟[A].光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集.2005-08-01
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