喻白莹
【姓名】 喻白莹
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 双岛结构,削角补偿,多晶硅压力传感器,削角,硅压力传感器,补偿技术,多晶,电子信息,工程学院,TMAH,天津大学,天津,感器,硅各向异性腐蚀,补偿设计,得了满意的效果,补偿图,溶液腐蚀,凸角,平面工艺,
【工作单位】 天津大学
【曾工作单位】 天津大学;
【所在地域】 天津
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[1]曲宏伟,张为,姚素英,毛赣如,张维新,喻白莹.双岛结构多晶硅压力传感器削角补偿技术的研究[J]天津大学学报.2000,(02)
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