宋晓辉
【姓名】 宋晓辉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 脉冲激光,激光-LIGA技术,柔性铰链,致性,MEMS,偏置电压,激光干涉仪,扫描隧道显微镜,扫描速度,激光烧蚀,AFM针尖诱导阳极氧化,微机电系统,诱导氧化,误差,纳米氧化,计量仪,加工技术,纳米,...
【工作单位】 天津大学
【曾工作单位】 天津大学;
【所在地域】 天津
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[1]宋晓辉;李艳宁;匡登峰;刘庆纲;胡小唐;.大气状态下AFM阳极氧化加工Si的研究[J]压电与声光.2006,(02)
[2]李艳宁,唐洁,饶志军,宋晓辉,胡晓东,傅星,胡小唐.脉冲激光MEMS加工技术[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[3]李艳宁,饶志军,唐洁,宋晓辉,胡晓东,付星,胡小唐.一种新型STM纳米计量仪[J]天津大学学报.2004,(12)
[4]宋晓辉,匡登峰,李艳宁,刘庆纲,胡小唐.AFM诱导氧化加工Si纳米氧化线的一致性和连续性的研究[J]航空精密制造技术.2005,(02)
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