李文军
【姓名】 李文军
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,沉积速率,TiO2薄膜,沉积温度,二氧化钛,化学气相沉积,MOCVD法,电子显微镜,晶体结构,薄膜表面,TiO_2薄膜,TiO2,TiO_2,喷嘴,最佳反应,形貌,薄膜结构,锐钛矿,扩散速率,喷...
【工作单位】 太原理工大学
【曾工作单位】 太原理工大学;
【所在地域】 山西太原
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[1]张建明,李文军.铁电体薄膜[J]太原理工大学学报.2005,(S1)
[2]武正簧,吴争鸣,李文军.探索MOCVD法制备TiO_2薄膜的最佳反应条件[J]真空与低温.2000,(04)
[3]武正簧,吴争鸣,李文军.TiO_2薄膜结构的研究[J]真空与低温.2001,(02)
[4]武正簧,刘成岑,李文军.影响TiO_2薄膜表面形貌的因素[J]真空与低温.2001,(04)
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